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國(guó)儀量子超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X,其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計(jì)、高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級(jí),實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。
國(guó)儀量子鎢燈絲掃描電子顯微鏡是全新一代鎢燈絲掃描電子顯微鏡,分辨率優(yōu)于2.5nm。特殊的電子光路設(shè)計(jì),突破鎢燈絲分辨率極限,在低電壓 1 kV 下,達(dá)到 5 nm 的分辨率。
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