國產(chǎn)掃描電鏡觀測樣品需要滿足什么條件？

　　說到掃描電鏡，很多人可能是聽說過的，這是一種非常普遍的設(shè)備，市場上國產(chǎn)掃描電鏡品牌和廠商也非常的多，應(yīng)用的范圍很廣泛。掃描電鏡本身是一種多功能的設(shè)備、其有很多*的性能、特別是在鑒定分析中其是使用廣泛的一種設(shè)備。一般來講，我們使用它對被觀測物體的外觀形貌進(jìn)行觀測或分析，另外在觀察形貌的同時(shí)，我們也可以對掃描電鏡選配EDS進(jìn)行元素成份分析。

　　由于國產(chǎn)掃描電鏡并非直接觀測，而是通過發(fā)射電子束對樣品進(jìn)行激發(fā)，并使用背散射或二次電子探測器對被觀測物體的成份像和形貌像進(jìn)行分析。由于掃面電鏡的工作方式就決定了，一般說來使用掃描電鏡觀測的樣品需要滿足如下幾個(gè)要求：

　　1.形貌形態(tài)，必須耐高真空

　　掃描電鏡是靠電子束掃描物體表面來成像的?？諝獾拇嬖跁?huì)使的電子束變型，影響掃描效果，所以被測樣品比較能耐高真空。

　　2．樣品表面不能含有有機(jī)油脂類污染物

　　油污在電子束作用下極端容易分解成碳?xì)浠?，對真空環(huán)境造成極大污染。樣品表面細(xì)節(jié)被碳?xì)浠衔镎谏w；碳?xì)浠衔锝档土顺上裥盘?hào)產(chǎn)量；碳?xì)浠衔镂皆陔娮邮饴芬饦O大象散；碳?xì)浠衔锉晃皆谔綔y器晶體表面，降低探測器效率。對低加速電壓的電子束干擾嚴(yán)重。

　　3．樣品必須是干燥的

　　水蒸氣會(huì)加速電子槍陰極材料的揮發(fā)，從而極大降低燈絲壽命；水蒸氣會(huì)散射電子束，增加電子束能量分散，從而增大色差，降低分辨能力。

　　4．樣品表面可以導(dǎo)電

　　樣品表面必須可以導(dǎo)電，如果不能導(dǎo)電，則必須鍍金以增加導(dǎo)電性。在大多數(shù)情況下，初級(jí)電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和，因此多余的電子必須導(dǎo)入地下，即樣品表面電位必須保持在0電位。如果樣品表面不導(dǎo)電，或者樣品接地線斷裂，那么樣品表面靜電荷存在，使得表面負(fù)電勢不斷增加，出現(xiàn)充電效應(yīng)，使圖像畸變，入射電子束減速，此時(shí)樣品如同一個(gè)電子平面鏡。對不導(dǎo)電的樣品，建議采用離子濺射鍍膜機(jī)噴鍍金屬，這樣可以顯著提高掃描電子顯微鏡所觀察圖像的質(zhì)量。

　　5．特殊樣品制備的考慮因素

　　掃描電鏡一般不建議觀測磁性材料，如果一定要觀測此類物質(zhì)，則建議對材料首先進(jìn)行退磁。如果要檢測觀察弱反差機(jī)理，就必須消除強(qiáng)反差機(jī)理（例如，形貌反差），否則很難檢測到弱的反差。當(dāng)希望背散射電子衍射反差（EBSD），I和II型磁反差或其他弱反差機(jī)理時(shí)，磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌。采用化學(xué)拋光，電解拋光等，以使樣品產(chǎn)生一個(gè)幾乎消除形貌的鏡面。

　　通過以上了解，相信大家對國產(chǎn)掃描電鏡觀測樣品有了一定的認(rèn)識(shí)，總結(jié)說來，掃描電鏡樣品通常需要在真空環(huán)境下進(jìn)行觀測（目前少數(shù)電鏡也有采用低真空技術(shù)進(jìn)行觀測的），因此其對被觀察樣品的要求簡單說來就是，樣品需要：干燥、無油、導(dǎo)電。